我市多举措严控“三公”经费支出_

　　会上，丰泽区共签约33个项目，总投资328亿元，其中，30个重大项目在现场签约，总投资253亿元，涵盖匹克服装贸易、交发跨境贸易生态园、站前商务区综合体等；星炫时空科技产业园、壹点纳锦（泉州）私募基金扩募、宇极高端发光材料3个项目参加当天上午泉州市民营经济发展大会签约，总投资75亿元。

　　“过去一年，在社会各界的鼎力支持下，我们奋勇争先、真抓实干，经济总量历史性迈上千亿台阶，核心区建设迈出新的步伐。”丰泽区委书记高金全表示，丰泽将始终秉承亲商、重商、安商、富商的发展理念，为大家选择丰泽、投资丰泽提供最好服务、最优政策、最佳保障。同时期盼各位企业家继续成为丰泽的“城市合伙人”和“城市推荐官”，选择丰泽、扎根丰泽，与丰泽并肩前行、共赢未来！

　　近年来，丰泽区锚定“五区”建设目标，以“5610”专项行动为抓手，接续实施“抓开放招商 促项目落地”专项行动，一批好项目、大项目接踵而来，为丰泽社会经济发展提供强有力的支撑。

　　当天，现场还举行2025年度经济贡献大户授牌仪式。丰泽区对工业、建筑业、商贸服务业、房地产业四个行业前5位经济贡献代表，现场颁授牌匾。同时，在总部经济、高新技术、文化旅游等领域，丰泽区聘任第五批招商大使，进一步充实全区招商大使队伍。

　　现场政企代表带着对新一年发展的期许畅所欲言。源之宇宙（福建）科技有限公司董事长吴克华、福建烟草机械副总经理、壹点纳锦基金负责人吴舫愃、滴滴出行科技有限公司地方事务部高级总监赖加凤、腾远泉音信息科技(泉州)有限公司负责人潘洁霞等企业家代表依次在会上作分享。丰泽区招商专员赖梓莹分别从立足丰泽、深耕丰泽、展望丰泽、选择丰泽、投资丰泽五个方面招商宣传推介，诚邀各位企业家、乡贤等在丰泽这片热土上创新创业、成就梦想。

2020年以来，受到疫情的影响，消费者对于室内健康空气的需求迎来爆发。空调，也再次回归其作为“空气调节器”的本质。在此背景下，而解决“室内空气焕新”痛点的新风空调迅速起量，成为空调市场增长的新风口。与此同时，“空调看新风，新风看海信”的观念也日渐深入人心。

中怡康数据显示：今年上半年，整个行业新风空调市场增长率为410%，而海信新风空调市场增长率更是达到943%。在刚刚过去的第28、29周，海信新风空调的市场占有率已接近35%，其中X8柜机在行业万元新风柜机中长期稳居TOP2，均处于行业领先的地位。

发布会上，包括10天前刚刚下线的海信新风空调X7柜机在内的，所有海信新风空调X系产品迎来集体亮相。灭菌杀毒、新能效、全面AI………在“新风量”领跑行业同时，海信新风空调还不断丰富黑科技“武器库”，成为行业内最受用户喜爱的新风空调。 

而受新风拉动，在空调市场基本盘低迷的背景下，海信实现了“名利双收”。在权威品牌评级机构Chnbrand发布2020年度中国顾客满意度指数(C-CSI)品牌排名中，海信与三菱、格力同时跻身TOP3。而在海外市场，海信空调上半年增长显著，创下多座“里程碑”，日本市场同比增长631%、南非市场同比增长74%、墨西哥销量同比增长62%……

随着8月份的到来，2021年新冷年也将正式开启，王宏伟在发布会上正式公布海信空调“四新”的核心市场操作策略：即“新产品”、“新思路”、“新推广”、“新赋能”，通过不断创新，为消费者创造更大的价值。

“在产品方面，海信空调在新风、自洁净、空间净化、能效和交互方面都进行了专业化升级，全面推出PRO版本的X系新风空调。”王宏伟表示，在5项新风发明专利和35项新风实用新型专利的加持下，海信新风空调的新风量全线升级，升级后，海信新风空调产品的核心指标——新风量都将达到同价位产品的2倍以上。

“海信空调是一个拥有‘造风者’基因的企业，不等风、不跟风，从变频到新风，从做产品到做标准，用一个又一个十年推动行业的发展和产品的升级换代。”王宏伟说。

        李想详细介绍“两路两园”项目建设情况及合资公司项目谋划情况。他表示，秉承“社会责任百分百、契约精神百分百、法律意识百分百”三个百分百理念，太平洋建设高效、快速完成了医药制造产业园南片区所有合同工作。他强调，太平洋建设商业模式多元，体制机制灵活，双方可积极谋划中医药智造谷、综合智慧能源站项目。我们将积极践行“进防城港门、做防城港人、说防城港话、办防城港事、尽防城港责”的主人翁责任意识，高质量助力防城港国际医学开放试验区建设。

        傅现高度认可太平洋建设的综合实力和社会责任感。他表示，希望双方保持对接，积极推进配套工程完善，力求早日圆满交付。同时紧盯园区发展目标，积极谋划园区下一步重点项目，共同推动中医药智造谷、综合智慧能源站项目加快落地。相信合资公司模式一定能为医学开放试验区经济发展注入新活力。（文/引江建设文品中心）

本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面，对该技术进行系统性解析。

一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口

当前半导体制造技术正经历关键变革：鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极（GAA）纳米带晶体管替代，中段制程（MOL）因多重图形化技术的应用，堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部，传统光学检测手段难以有效识别。

同时，先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性，集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”，此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发，成为影响良率的核心因素。

行业面临的核心矛盾在于：电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术，但传统电子束检测采用光栅扫描模式，效率远低于光学检测，无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现，为破解这一矛盾提供了可行路径。

二、DirectScan 核心技术架构：PointScan 的创新逻辑

DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成，其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构，主要体现在以下三方面：

1

设计感知驱动的靶向检测

传统电子束检测采用无差别光栅扫描，需覆盖包括介质区域在内的全部区域，且无法识别被测目标的图形特征；PointScan 技术具备非接触式电学测试特性，可精准跳转至目标器件的关键位置（如焊盘、接触点），仅对有效检测区域实施电压衬度检测，完全规避介质区域的无效扫描，实现 “按需检测”。

2

检测效率的量级提升

通过 FIRE 平台的精细化版图分析，可精准筛选出需检测的 “关键区域”，大幅缩减检测范围：

后段制程金属 3 层通孔检测：仅需扫描总可检测面积的 2.5%

中段制程栅极 - 漏极短路检测：仅需扫描总接触点的 1%

栅极残筋检测：可规避 50%-75% 的介质区域，检测面积缩减至传统方案的 10% 以下

基于上述优化，PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍，每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。

3

设计感知学习与属性分析能力

DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合，可实现跨多层版图的属性提取，包括触点类型（漏极 / 栅极）、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。

eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码，可与版图特征精准匹配，工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率，快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案，为工艺优化提供数据支撑。

三、高难度场景的应用突破

PointScan 技术的低电荷沉积特性，使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破：

背侧供电网络（BSPDN）晶圆检测

键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导，导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题；PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量，有效缓解上述问题，已完成实际应用验证。

3D DRAM检测

3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积，此前检测难度较高，DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。

DRAM 阵列短路检测

独有的可控 “充电 - 检测” 功能，可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号，使特定岛状节点呈现高亮状态，清晰识别与浮空相邻触点的短路问题，该功能为传统光栅扫描技术所不具备。

四、行业落地实践与全流程应用

自 2022 年初起，eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地，目前两套设备投入大批量生产，第三套设备处于产能爬坡阶段，应用场景覆盖半导体制造全流程：

先进逻辑芯片制造

中段制程：GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测

后段制程：M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测

背侧供电网络：电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测

随机逻辑电路漏电情况评估

先进 DRAM 制造（2024-2025 年）

外围电路：栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位

存储阵列：基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测

技术总结

在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下，检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合，在保留电子束检测高灵敏度的基础上，实现了检测吞吐量的量级提升，同时破解了高难度场景的检测难题。

该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题，更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级，为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。

平板玻璃的领先制造商意大利皮尔金顿公司正在庆祝一项宏大的循环性试点项目取得成功，该项目有多家行业参与者参与，旨在回收消费后的玻璃废弃物，特别是建筑物中已达到使用寿命的窗户和幕墙所用的玻璃。

在令人担忧的全球背景下——正如麦肯锡2023年《建筑环境中的循环性》报告所强调的，目前全球仅有不到1%的浮法玻璃得到回收利用——回收和再利用平板玻璃的好处是众所周知、有科学依据且具有经济吸引力的。例如，回收一吨碎玻璃可避免向大气中排放约700公斤的二氧化碳。

正是在这样的背景下，“renew: glass”项目应运而生。这是由意大利皮尔金顿公司推动的一项倡议，旨在促进浮法玻璃回收料的负责任使用，减少垃圾填埋量，并为该行业的脱碳进程做出贡献。在巩固了从合作玻璃加工商处回收消费前玻璃废料的成果后，该倡议现已扩展到建筑行业的消费后玻璃领域，同时也吸纳了窗户制造商和玻璃废料处理运营商的参与。

该试点项目在贝加莫省的一个建筑工地实施，在那里，PM Serramenti采用选择性拆除方法负责拆除旧窗户系统。在拆除阶段就对材料进行了分离：框架被放入专用容器，而中空玻璃单元则被送往专门的处理、清洁和破碎流程，并去除橡胶、金属和铝。

由此产生的碎玻璃随后被送往皮尔金顿意大利工厂，在那里它经过了严格的光学和化学检验，以验证是否符合平板玻璃生产所需的高质量标准。一旦获得批准，这些回收材料就会重新投入生产过程，这在成品质量（完全符合现行法规和内部规范）以及生产过程的环境性能方面都取得了积极成果。

“这个试点项目再次证实，建筑行业平板玻璃的循环利用不仅在理论上可行，而且可以通过一个结构化、可追溯且符合最高质量标准的运营模式具体实现，”皮尔金顿意大利公司营销和产品经理阿图罗?贝尼尼表示。“在解决消费后玻璃回收的复杂性并将其转化为一种有效且可扩展的工业实践方面，整个价值链的合作至关重要。”

这一举措进一步强化了皮尔金顿意大利公司对日益循环和可持续的工业模式的承诺，有助于减少窗户更换产生的废弃物，并推动更具环境责任感的建筑供应链的发展。

小玻编译